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缝阀

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对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP

    ・长寿命：300万次（常温时）
    ・发尘量：减少至1/5以下（与以前型号相比）
    ・维护性提高
    　波纹管更换更容易
    　可通过顶部拆装们（订制规格）
    ・安全对策
    　采用机械式端锁机构
  • 对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP
    说明书
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系列使用压力范围（Pa）使用流体门尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGTP大气压～10-6惰性气体50×3360.45～0.6

缝阀 XGT

    ・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
系列使用压力范围（Pa）使用流体门尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGT大气压～1×10-6惰性气体类的真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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