サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
欧州Fガス規制対応サーモチラー HRZ-F
安全上のご注意 温調機器/共通注意事項 特長/バリエーション 技術資料
口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:温調機器の保証について 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:グリーン対応(RoHS)
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シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRZ-F | -20~40℃ 10~60℃ -20~90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液 清水・脱イオン水(純水) |
水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW
![](http://www.smcworld.com/upfiles/etc/series/ja-jp/img1-076-HRW.jpg)
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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (冷凍機なし) | フッ素化液 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(60%) |
サーモチラー/高機能タイプ HRZ
![](http://www.smcworld.com/upfiles/etc/series/ja-jp/img1-073-HRZ.jpg)
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品
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シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) 清水・脱イオン水(純水) |