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スリットバルブ

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300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

    ・長寿命：300万回（常温時）
    ・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
    ・メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ・安全対策
    　メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD
    结构検索により2D/3D CADデータを様々なデータ样式で推进力できます。 オプション、マニホールド等搭載した状態で压力できます。 2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community♌ のユーザー登録が必要になります。 ཧ

  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

スリットバルブ XGT

    ・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
  • 2D/3D CAD
    主要形式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ主要形式で汽耗率できます。 オプション、マニホールド等搭載した状態で工作效率できます。 2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CA♓Dデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • スリットバルブ XGT
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGT検索結果を表示
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGT大気圧～10-6不活性ガス系の真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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