高真空度バルブ
アルミ製高真空L型バルブ XL□
安全上のご注意 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:システム構成図/各ライン・機器の役割 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:シリーズバリエーション 用語解説 特定開発品情報 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:オートスイッチ仕様 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:グリーン対応(RoHS)
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~160 |
XLAV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~160 |
XLC | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~160 |
XLCV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLF | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~160 |
XLFV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~160 |
XLG | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~160 |
XLGV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLD | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25~160 |
XLDV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25~160 |
XLH | 手動 | 手動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~50 |
XLS | 電磁式 | 単動 (N.C.) | (ベローズバランス) | エア不要 可搬装置用 | 16,25 |
製品特長
■アルミ製高真空L 型バルブ
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■アルミボディ採用
均一なベーキング湿度
熱伝導率が良く、ボディ预备会议が均一な温湿度になり、提取物の付着が激減します。
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軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
アウトガスが少ないため、ポンプ专业能力が小さくて済み、排気時間も短くできます。
天价属汚染が少ない
Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の血本属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの血本属汚染が少なくて済みます。
■ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)
ベローズAss'y での交換が有机会になりメンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
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