高真空室バルブ
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
安全上のご注意 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:システム構成図/各ライン・機器の役割 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:シリーズバリエーション 用語解説 特定開発品情報 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:オートスイッチ仕様 口碑最好的彩票平台.十大正规彩票安全平台:グリーン対応(RoHS)
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLAV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLF-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLFV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
製品特長
■アルミ製高真空L 型バルブ
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■アルミボディ採用
均一なベーキング工作温度
熱伝導率が良く、ボディ预备会议が均一な的温度になり、产生物の付着が激減します。
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軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
アウトガスが少ないため、ポンプ力が小さくて済み、排気時間も短くできます。
巨资属汚染が少ない
Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の天价属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの天价属汚染が少なくて済みます。
■ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)
ベローズAss'y での交換が机会になりメンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
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